ซับสเตรตเซรามิกซิลิคอนไนไตรด์มีข้อดีมากมาย เช่น ความแข็งแรงสูง ความเหนียวสูง และการนําความร้อนที่ยอดเยี่ยม (130W/(m-k))นอกจากนี้ สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของมันยังใกล้เคียงกับเซมิคอนดักเตอร์ Si, SiC และ GaN ดังนั้น ซับสเตรตเซรามิกซิลิคอนไนไตรด์จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสําหรับบรรจุภัณฑ์โมดูลกําลังสูง ทําให้ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางว่าเป็นตัวเลือกเซรามิกที่เหมาะสมที่สุด
บริษัทของเราใช้กระบวนการไนไตรด์โดยตรงในการผลิตผงซิลิกอนที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยเทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรเฉพาะของเรา เราควบคุมวัสดุซิลิคอน กระบวนการไนไตรด์ และกระบวนการกลั่น เพื่อเตรียมผงซิลิคอนไนไตรด์ CF-HJ ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีปริมาณเฟสสูง การกระจายขนาดอนุภาคแคบ และกิจกรรมการเผาที่ยอดเยี่ยมผงซิลิคอนไนไตรด์ชนิดนี้ได้ยุติการผูกขาดจากต่างประเทศอย่างมีประสิทธิภาพ และสามารถใช้เป็นตัวแทนที่เหมาะสมแทนผงซิลิคอนไนไตรด์นําเข้าที่มีคุณภาพเทียบเท่ากันได้อย่างเต็มที่
|
รายการทดสอบ |
หน่วย |
ช่วงดัชนี |
อุปกรณ์หรือวิธีการทดสอบ |
|
α |
% |
≥90 |
เครื่องเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ JC/T 2342-2015 |
|
Fe |
พีพีเอ็ม |
≤200 |
วิธีการดูดกลืนอะตอม ISO10058-3:2008 |
|
อัล |
พีพีเอ็ม |
≤200 |
|
|
Ca |
พีพีเอ็ม |
≤200 |
|
|
N |
% |
≥38.5 |
อุปกรณ์ไนโตรเจน Kjeldahl GB/T 16555-2017 |
|
Frss Si |
% |
<0.2 |
เมทฮีพีดีแบบปริมาตรแก๊ส GB/T 16555-2017 |
|
C |
% |
≤0.10 |
เครื่องวิเคราะห์คาร์บอนอินฟราเรดความถี่สูง GB/T 16555-2017 |
|
D50 |
ไมครอน |
≤0.9 |
เครื่องวิเคราะห์ขนาดอนุภาคด้วยเลเซอร์ GB/T19077-2016 |
|
O |
% |
≤1.4 |
วิธีการนําความร้อนอินฟราเรดแบบพัลส์ก๊าซเฉื่อย GB/T 16555-2017 |
